Васичев Б.Н.
Электронолитография.
Радиоэлектроника и связь. 8/1982
|
|||||||||||||||||||||||||
Содержание В брошюре рассмотрено современное состояние электронолитографии и пути ее дальнейшего совершенствования. Коротко рассказано об истории развитии. Представлены современные электронно-лучевые установки. Выявлены тенденции развития микролитографии и средств для ее реализации. Дан анализ пределов миниатюризации элементов интегральных схем.
|
|||||||||||||||||||||||||
Вес: 150 грамм
Состояние: отличное
Дополнительное описание:
|
|||||||||||||||||||||||||
200 руб. | Задать вопрос по книге |