 |
Васичев Б.Н.
Развитие рентгеновской и ионной литографии.
Радиоэлектроника и связь. 9/1988
|
||||||||||||||||||||||||
|
Содержание В брошюре отражено развитие новых технологических направлений в микроэлектронике, используемых для формирования СБИС с размерами элементов менее 1 мкм. Рассмотрены перспективы развития этих направлений, и в частности развития метода, аппаратуры и технологии рентгенолитографии и ионолитографии как наиболее реальных процессов массового производства ИС нового поколения.
|
|||||||||||||||||||||||||
|
Вес: 180 грамм
Состояние: отличное
Дополнительное описание:
|
|||||||||||||||||||||||||
| 200 руб. | Задать вопрос по книге | ||||||||||||||||||||||||
"КНИЖНАЯ ПОЛКА" - код книги 12343
|
Продажа частной коллекции букинистической литературы. Широкий выбор книг различной тематики по доступным ценам. Отправка почтой по России и за рубеж. Все отправления регистрируются и их можно отследить на сайте Почты РФ. Следите за акциями и предложениями! Удачных покупок! Время генерации страницы: 0.020 сек. |
||
